智能對焦系統(tǒng)
??浦悄軐瓜到y(tǒng)基于同軸激光傳感的高速自動對焦技術(shù)開發(fā)而成,通過采集對應(yīng)樣品表面反射的激光信號,主動感知物鏡到對焦樣品表面的距離,并根據(jù)物鏡的離焦?fàn)顟B(tài)實時確定并輸出運動機構(gòu)的控制信號,控制物鏡運動到對焦位置,保證成像系統(tǒng)始終采集到高對比度圖片。
產(chǎn)品特征
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高速實時跟焦
智能對焦系統(tǒng)支持6.3kHz高速離焦量采樣,能夠迅速檢測目標(biāo)表面的離焦距離和離焦方向,自動快速調(diào)整焦距,確保被測表面能夠?qū)崟r清晰成像。在常規(guī)的10倍物鏡,離焦100um的情況下,再對焦時間小于100ms。
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亞微米級追焦精度
智能對焦系統(tǒng)的對焦精度達到亞微米級,靜態(tài)對焦精度優(yōu)于1/4景深,動態(tài)跟蹤對焦精度優(yōu)于1/2景深。
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場景適應(yīng)性佳
智能對焦系統(tǒng)支持線式分段激光采樣,能夠兼容更復(fù)雜的目標(biāo)表面紋理,滿足嚴苛的檢測需求;同時提供660/785/850nm三種激光波長,適應(yīng)不同的成像波段需求。
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廣域?qū)狗秶?i>
在常規(guī)物鏡倍率下,智能對焦系統(tǒng)擁有足夠大的對焦范圍,可彌補目標(biāo)物上料時的高度定位偏差,適應(yīng)更復(fù)雜的對焦場景。
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組件配置靈活
智能對焦系統(tǒng)支持多物鏡切換應(yīng)用,可應(yīng)對需要多個復(fù)檢倍率的瑕疵檢測場景;還能夠兼容多種相機靶面、明/暗場光源及Z軸執(zhí)行器,各部分組件可根據(jù)實際使用場景自由選配,游刃有余地應(yīng)對不同場景視覺應(yīng)用。
應(yīng)用案例
??浦悄軐瓜到y(tǒng)目前已在顯示面板、半導(dǎo)體、PCB、生物醫(yī)療等領(lǐng)域的亞微米級高精度檢測場景中廣泛應(yīng)用,并獲得高度認可。
產(chǎn)品規(guī)格
型號 | IFU-S6 | ||||
物鏡倍率 | 2x | 5x | 10x | 20x | 50x |
NA | 0.055 | 0.14 | 0.28 | 0.42 | 0.55 |
景深 | 91um | 14um | 3.6um | 1.6um | 0.9um |
采樣率 | 160Hz-6.3kHz | ||||
線性對焦范圍(μm) | ±3000 | ±1000 | ±700 | ±300 | ±100 |
供電 | 12-24V DC | ||||
功耗 | 3W | ||||
動態(tài)跟蹤對焦精度 | 優(yōu)于1/2物鏡景深 | ||||
單次對焦時間 | 小于100ms (10X物鏡 離焦100um) | ||||
可對焦反射率 | 1-99% | ||||
可對焦范圍(μm) | ±20000 | ±13000 | ±5000 | ±2500 | ±800 |
圖像傳感器 | Area Scan CMOS | ||||
對焦重復(fù)性 | 優(yōu)于1/4物鏡景深 | ||||
尺寸 | 45*50*128mm | ||||
工作環(huán)境溫度 | 10-35℃ | ||||
模塊質(zhì)量 | 385g | ||||
激光器 | 660nm/785nm/850nm半導(dǎo)體激光器,出光口的出光功率0.4-4mw | ||||
激光器控制 | RS485 | ||||
激光形狀 | 線式 | ||||
運動控制信號輸出 | 脈沖+方向 or 模擬信號(0-10V) | ||||
通信方式 | RS485 | ||||
靜態(tài)對焦精度 | 優(yōu)于1/4物鏡景深 |